X射線能譜法\"EDS\"是用于樣品分析和表征的分析技術。通常通過配合掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡的使用，是用來對材料微區成分元素種類與含量進行分析：利用電子束與物質作用時產生的特征X射線，來提供樣品化學組成方面的信息，可定性、半定量檢測大部分元素（Be4-PU94），可進行表面污染物的分析。
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